簡易檢索 / 檢索結果

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    高導磁合金膜之機械性質研究-楊氏模數與硬度
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 楊念庭 指導教授: 鄭偉鈞
    • 本研究以奈米壓痕及表面聲波量測技術,來量測鍍鐵-鎳合金薄膜的楊係模數及硬度。蒸鍍鐵鎳薄膜時基板溫度為27℃及270℃,蒸鍍薄膜厚度為10 nm到130 nm。可用原子力顯微鏡量測其表面粗糙度。從XR…
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    鐵鈀薄膜之機械性質研究-楊氏係數、硬度與薄膜應力
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 顧庭安 指導教授: 鄭偉鈞 任盛源
    • 摘 要 本研究是利用濺鍍方式將單層鐵鈀薄膜沉積於Corning 0211玻璃基板上。樣品製備完畢,隨後進行PSC應力分析儀分析試片曲率半徑,進而計算薄膜應力值;奈米壓痕試驗儀得到薄膜楊氏係數(Ef…
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